钛靶材在不同行业中的性能要求

发布时间：2024-11-05 11:10:25 丨 浏览次数：108

一、钛靶材的基本性能要求

       ①纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

       ②杂质含量靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

       ③密度为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

       ④晶粒尺寸及晶粒尺寸分布通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

二、不同行业对钛靶材的纯度要求

①集成电路中使用的钛靶材

       集成电路钛靶的纯度要求主要是大于99.995％，高于非集成电路中所用的纯度。 

②平板显示器中使用的钛靶材

       平板显示器包括液晶显示器，等离子显示器，电致发光显示器和场发射显示器。溅射镀膜技术通常用于沉积平板显示器的薄膜。Al，Cu，Ti和Mo是平板显示器的主要金属溅射靶材。用于平板显示器的钛靶材的纯度通常需要大于99.9％。

       钛作为原料可以通过几种方法制成钛溅射靶材，可广泛应运于电子，信息工业，家庭装饰，汽车玻璃制造等高科技领域。在这些行业中，钛靶材主要用于镀膜集成电路，平板等部件的表面面板显示器，或作为装饰及玻璃镀膜等。

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